液氮循環(huán)密閉回路輸送系統(tǒng)
由于對無線電通訊設(shè)備需求的爆發(fā)性增長，多片裝分子束外延(MBE)系統(tǒng)在全世界得到了發(fā)展和應(yīng)用。工業(yè)界需求的持續(xù)增長推動了外延片的制造者們開始使用更大的設(shè)備得到更高的外延片產(chǎn)出量。這種新產(chǎn)生的分子束外延設(shè)備卻帶來了新的液氮循環(huán)方面的問題。
由于分子束外延 (MBE) 的工藝對真空的要求達到極致，需利用液氮（LN2）夾套將生長腔內(nèi)的殘余氣體抽出。而如何將液氮輸送到分子束外延 (MBE) 設(shè)備液氮（LN2）夾層中，一直是個難題，由于液氮的特性，一旦液氮進入低溫夾套后，就不是在最理想的條件下。典型的分子束外延(MBE)“管道系統(tǒng)”通常就是由放在離設(shè)備盡可能近的175L杜瓦罐和用來將液氮連接到低溫夾套的泡沫保溫管組成。這樣會使系統(tǒng)很臟、且伴有結(jié)冰。循環(huán)由從低溫夾套中連續(xù)排出液氮來完成。這方法除了效率非常低以外，還無法解決兩相流體（液和氣）共同流動的問題。其中由液氮杜瓦罐出口閥處和低劣保溫的輸送管道產(chǎn)生的氣化以及液氮從高壓瞬間降低至大氣時的氣化所產(chǎn)生的大量氣體，從而導(dǎo)致生長腔內(nèi)的真空異常波動。
成都恒立低溫設(shè)備有限公司特別設(shè)計出了為滿足分子束外延 (MBE)設(shè)備所需求的液氮密閉循環(huán)系統(tǒng)。密閉循環(huán)系統(tǒng)可以使低溫夾套內(nèi)表面完全浸泡在液氮里面、最大限度地減少排氣量并保持在低壓力下的液氮溫度恒定。全自動的系統(tǒng)非常安全，可靠。
系統(tǒng)組成部分主要包括：從液氮儲槽開始到氣液分離器之間輸送液氮的真空多層絕熱低溫液體管道、氣液分離器和一個或者多個低溫夾套之間的供給和回流排氣管道組成。（如下圖）
